首先檢查儀(yi) 器係統是否有明顯的漏氣聲。在儀(yi) 器係統氣路有較大的泄漏發生時，很可能導致流量調不上去。如果聽不到漏氣聲則轉入（3）進行。
聽到有漏氣聲之後，可依照聲音發出的方向而逐步定位。此時可利用皂液的塗抹進一步確定漏氣的發生處，找到原因後及時堵漏。
觀察柱前壓指示表的數值大小，可迅速判斷是氣源引起的故障，還是儀(yi) 器內(nei) 部氣路堵塞及損傷(shang) 造成的。如果是柱前壓太低（精確地說是比正常流量操作時的預定壓力值低），則說明氣源需要檢查；如果柱前壓正常則需要檢查儀(yi) 器的內(nei) 部氣路。
打開鋼瓶閥後，觀察高壓表指示，壓力應在1~15MPa之間。如果壓力在1MPa以下，停用該鋼瓶，換氣；如壓力值在合適的範圍內(nei) ，說明鋼瓶壓力正常。
調節減壓閥看鋼瓶上低壓表指示能否調到0.25~0.6MPa之間。如果正常，可懷疑氣路過濾接頭有堵塞或者是儀(yi) 器上的穩定閥有問題，此時應按照（6）來進行；如低壓值不正常，則說明減壓閥有問題，需進行（7）的修理。
將過濾器出口到儀(yi) 器氣源入口處的接頭緩緩旋開，觀察是否有較強的氣流從(cong) 接頭處跑出。如有，則說明過濾器不堵塞，穩壓閥可能有問題。在確定穩壓閥不出氣後，可進行閥拆卸與(yu) 清洗，這可能是穩壓閥內(nei) 閥針與(yu) 閥座間堵塞所致。如清洗後閥仍不能正常工作，最好換一個(ge) 新閥；在上麵試驗中若無較強氣流從(cong) 旋開的接頭中流出，需要檢查過濾器入口前後可能堵塞之處；當然中間管線的堵塞也是可能的，但發生率甚小。
在明了減壓閥的結構之後，可拆卸修理減壓閥。由於(yu) 該減壓閥入口一側(ce) 有高壓，有條件的，建議換用新閥；換閥時必須注意到，氫氣表或氧氣表應與(yu) 其它氣源表所用減壓閥分開使用，減壓閥上應標明其專(zhuan) 用的氣源名稱。
在鋼瓶的壓力太小時，應立即停用、換新瓶或充氣。在過小的壓力下，不但氣源輸出不穩，而且氣源中雜質濃度將明顯增大，這對高靈敏度的分析是特別不利的。另一個(ge) 必須要注意的問題，是鋼瓶中的餘(yu) 氣，特別是氫氣鋼瓶的餘(yu) 氣不能隨便排放。
將柱子入口處氣接頭拆下，觀察流量計中的轉子是否能升到最上端。如果能升到最上端，說明柱前氣路正常，轉入（10）作進一步檢查；如果轉子達不到最上端說明柱前氣路有堵塞，需進行（13）檢查。
將柱子入口接回原氣路中後，再將柱出口側(ce) 接頭拆下，此時觀察流量計中的轉子能否調到預定值。如果可以，將判斷柱後管路及檢測器有堵塞，需按（11）進行處理；如果轉子仍調不上來，則可以認為(wei) 柱填充過緊，需按（12）進行。
在判斷為(wei) 柱後管路或檢測器堵塞時應進行排隊和清洗。
柱填充過緊的主要原因是載體(ti) 目數太大，造成過大的氣阻所引起。在適當采用目數小一些的載體(ti) 或減短色譜柱的長度後可以使流量上調到預定值。
將轉子流量計出口端氣路旋開後，如果可以，則判定進樣、汽化器氣路堵塞，按（14）處理；可認為(wei) 流量閥損壞或流量計入口管路有堵塞，此時按（15）進行。
用分段試堵將很快判定是否流量管路產(chan) 生了堵塞。如有，按氣路管路的清洗進行；如流量計前管路正常，可拆卸流量控製閥進行清洗。
如果氣體(ti) 流量一直很大而不能調小，可以認為(wei) 是氣路控製係統的一種故障。產(chan) 生此類故障的原因有三種：
第一，是流量計後氣路有泄漏；
第二，是氣路氣阻太小；
第三，是流量控製閥件損壞。其檢查方法如下：首先堵住檢測器的氣路出口，觀察流量計中的轉子是否可下降到零位。如不能降為(wei) 零，需要考慮對漏氣處進行檢查，具體(ti) 方法見氣路泄漏的檢查與(yu) 排除；如轉子可降到零位說明係統不漏氣。此時應觀察一下流量調節閥轉動時，流量是否有較大的變動，若有變動可適當增加氣路氣阻；若無變動則應懷疑閥件本身有問題，按照閥件的清洗部分處理。處理後的閥件應再裝回原氣路中進行控製試驗。
